微流量傳感器 - F1012

產(chǎn)品介紹

一、微流量傳感器F1012產(chǎn)品描述

F1012微流量傳感器是利用熱力學(xué)原理對流道中的氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測，具有很好的精度與重復(fù)性。F1012微流量傳感器內(nèi)置有溫度傳感器，每只都進行專有的溫度補償校準；同時具有線性模擬 電壓輸出，方便使用微流量傳感器F1012芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成：熱偶堆對稱 地分布在加熱電阻的上、下游；加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié) 處于一個隔熱底座上。加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)加熱。熱 偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓，即本征塞 貝克效應(yīng)。當流體 靜止時，等溫線沿垂直加熱電阻中部的直線對稱分布，加 熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的。當流體從右向左流 動時，等溫線向左側(cè)傾斜。加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度 不再相同。溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由 于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可直接測出流體質(zhì)量流量。

二、微流量傳感器F1012特點
新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)
無漂移，無滯后
精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好
低功耗（使用脈沖激發(fā)電流）
可準確測量極小流量
經(jīng)過完全校準和溫度補償
線性或開方特性輸出；模擬或數(shù)字輸出

三、微流量傳感器F1012主要應(yīng)用
醫(yī)用設(shè)備：呼吸儀、肺活量儀、麻醉控制儀、氧氣控制等
暖通空調(diào)：變風量系統(tǒng) (VAV)、過濾器監(jiān)控、風扇通風控制等
工業(yè)過程控制：燃燒器控制
空氣和環(huán)境保護
便攜式儀器

四、微流量傳感器F1012技術(shù)指標